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真空度測試儀結(jié)構(gòu)功能詳述

更新時間:2015-10-14      點擊次數(shù):1610
真空度測試儀判別*漏氣的真空滅弧室
在V型機中,通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。
 
PC機控制測量、計算漏率、形成測量數(shù)據(jù)庫
這部分是選配件。通過界面進行管型、電流或真空度、所用數(shù)據(jù)庫的整定,由PC機控制整個測量過程、顯示測量結(jié)果并將數(shù)據(jù)存入整定時的數(shù)據(jù)庫。同一只真空滅弧室在兩次測量后,可通過界面控制進行漏率計算。
 
內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入VC系列產(chǎn)品。因此,VC系列真空度測試儀內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。
 
完善的輸入保護電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時,測量時真空滅弧室會被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上,使其承受十分強的電沖擊。VC-VB的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時工作不正常時(重新開機即可),也不會造成電路部分的損壞。
 
基于電離電荷的采樣技術(shù)
VC系列真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我公司*了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。
                                              
漏電電流的處理                                       
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的
真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
 

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